林賽斯薄膜綜合物性分析儀TFA概述

基本測量單元 ：
測量室，真空泵，帶加熱器的支架，電子頰側(cè)裝置，集成鎖相放大器，3w方法分析軟件，計(jì)算機(jī)和應(yīng)用軟件。可測以下物理參數(shù)：
l -熱傳導(dǎo)系數(shù) (穩(wěn)態(tài)法/平面內(nèi)方向)
r – 電阻率
s – 電導(dǎo)率
S – 賽貝克系數(shù)
e – 發(fā)射率
cp – 比熱容

磁測量單元：
可根據(jù)需求選擇集成式電磁鐵，可測物理參數(shù)如下：
AH – 霍爾常數(shù)
μ –遷移率
n -載流子濃度

薄膜材料性能有別于塊體材料之處

– 因小尺寸和高縱橫比所導(dǎo)致的表面效應(yīng)如：邊界散射和量子限域效應(yīng)

林賽斯薄膜綜合物性分析儀TFA特點(diǎn)

★ 高效便捷的薄膜材料表征手段（nm到um薄膜測試）。
★ 不同溫度下的測量（-170 to 200℃<-可選300℃>）
★ 樣品易于制備和處理
★ 高的測量適應(yīng)性 (樣品厚度，電阻率，沉積方式)
★ 一個(gè)樣品，一次同步測量即可獲得所有相關(guān)參數(shù)。
★ 適用于金屬、陶瓷及有機(jī)材料。